技術情報

Example of usage 活用シーン

• 

  開発時の観察にSEMやSPM

  コンタクトプローブを使用した電気検査では、プローブ先端が被検査物に直接接触して検査を行います。半導体検査では、ウェハー製造工程における前工程検査や後工程検査において使用されています。検査に使用されるコンタクトプローブは、正しい判定を維持できる耐久性も必要とされています。コンタクトプローブを構成する基材だけではこれらの要件を実現することが難しく、基材に表面処理を施すことで性能を確保しています。
  コンタクトプローブを使用した接触検査では、検査時の接触圧力が低くても安定した結果を出力しなくてはならないため、プローブの被検査物への接触部は低抵抗でなくてはなりません。
  また、コンタクトプローブを構成する各部品同士の接触部においても低抵抗化が必要です。更に、各部品は接触した状態で可動するため、摩擦摩耗の耐久性が必要となります。低抵抗であり、耐久性を両立させるために、特殊な表面処理技術が重要な要素となっています。
  その他の課題として、大電流における耐久性、高温環境での使用における耐久性、高硬度材への接触に対する耐摩耗・変形、はんだバンプへの接触における耐久性、などがあります。これらの課題をめっきを含む金属材料で解決しています。
  めっき皮膜を構成する結晶や結合力、皮膜特性をコントロールすることでコンタクトプローブのフォーマンスを最大化することができます。

• 

  不具合品解析時の調査にICP

  コンタクトプローブのような微細部品で構成された製品の場合、製品使用中に発生した不具合の原因を追究することが非常に難しくなります。それは、原因追及に当たり、コンタクトプローブを構成する基材の種類や性質、熱処理に関する知識、めっき皮膜の性質、構成部品の加工方法、めっき加工方法、組立方法など、一連の技術的要素を理解していなければ不具合品を解析しても原因に辿り着くことはできません。
  特に、めっきにおいてはちょっとした液の変動や電気的な変動が発生すると、めっき皮膜を構成する粒子に影響を与えてしまいます。そのため、皮膜の性質が変化し、製品としての性能が変わってしまいます。よって、不具合発生の現象に対して、めっき皮膜の状態や製造工法など多岐の要素を熟知した上での解析が必要となります。